CVD金刚石拉丝摸具纳米涂层设备

　　设备技术参数：

　　1.1、钟罩:尺寸500mm×550mm，材料:SUS304;内不锈钢皮隔热，升降高度为350mm;

　　1.2、机台:尺寸约1550mmX900mm×1100mm(含控制);

　　1.3、极限真空度:2.0×10-1Pa;

　　1.4、压升率:≤5Pa/h;

　　1.5、托样台移动:上下升降范围为±25m;要求上下升降时左右晃动く士3%;

　　1.6、工作压力:采用薄膜规压力表，测量范国:0～10kPa;工作时恒定在1kPa～5kPa中的任一压力值，恒定的压力数值变化正负0.1kPa;

　　1.7、进气位置:钟罩顶部进气，抽气口位置位于托样台正下方;

　　1.8、控制系统:PLC控制器+线路+10寸触摸屏(品牌:欧姆龙/昆能通泰);

　　1.9、充气系统:2路充气系统，流量计品牌:七星华创，流量范围:0-2000sccm和0-200sccm;

　　阀门:气动阀。

　　1.10、真空泵:双极直联式油旋片泵，宁波鲍斯产BSV30;

　　设备纳米涂层优势

　　特性：1、 高硬度，国内国际的多项测定表明，纳米压入仪测定的硬度达到80GPa(HV8000),经由纳米金刚石镀膜的工具及产品，硬度远远大于未经镀膜的;

　　2、 镀膜与基体的结合度，不会产生镀膜层脱落;

　　3、摩擦系数低至0.092-0.105(对金属钢);

　　4、 耐磨性能急速提高。许多材料经镀膜后，耐磨性可提升100倍以上;

　　5、耐腐蚀性更好，纳米金刚石涂层具有化学惰性，例如，覆有100纳米金刚石涂层的电镀件，可经受300小时的盐雾试验，不出现腐蚀变异。